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| 类别 | 参数 |
测量范围 | X轴：1500mm |
| Y轴：5000mm | |
| Z轴：1000mm | |
整机尺寸（LWH） | 6446mm×2038mm×3590mm |
使用环境 | 温度：20±2℃，湿度：55%RH～65%RH |
测量精度 | 长度测量最大允许示值误差(μm) ： MPEE=3.6+L/300μm |
| 类别 | 参数 |
测量范围 | X轴：1500mm |
| Y轴：5000mm | |
| Z轴：1000mm | |
整机尺寸（LWH） | 6446mm×2038mm×3590mm |
使用环境 | 温度：20±2℃，湿度：55%RH～65%RH |
测量精度 | 长度测量最大允许示值误差(μm) ： MPEE=3.6+L/300μm |
